羅茨真空泵的概念
羅茨真空泵是利用兩個8字形葉輪在機殼中旋轉而產生吸氣和排氣作用的。由于它在低壓力范圍內工作,氣體分子自由程較大,氣體通過微小縫隙的阻力很大,因而能獲得較高的壓縮比,可以作為增壓真空泵使用。
羅茨真空泵根據泵體結構可分為兩類:一類為普通型,另一類為直排大氣型。二者區別除結構之外,主要是普通型不能單獨把氣體直接排入大氣中去,需要和前級真空泵串聯使用,被抽氣體通過前級真空泵將氣體排到大氣中。而后者則可以直接將被抽氣體排入大氣。
普通型羅茨真空泵又可分為一般型泵和帶旁通閥型泵兩種。一般型泵的最大允許壓差在2000Pa~10000Pa范圍,而帶旁通閥的壓差僅限于2000Pa~4000Pa。當壓差超過每一規格泵的規定值時,旁通閥就會自動頂開,泵出口出的氣體經旁通閥返流入進口處,以使泵安全運行。因為轉子受力面積較大,在大壓差情況下運行,會使泵的負載變的很大。